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[供應]CVD氣相沉積爐

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CVD氣相沉積爐詳細信息

化學氣相沉積爐應用領域

化學氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的復合材料的化學氣相沉積，如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。

化學氣相沉積爐產品規(guī)格

產品型號/規(guī)格W×H×L(mm)

600*600*1000

800*800*1200

1000*1000*1500

1200*1200*2500

1500*1500*3000

2500*2000*3600

裝載重量(KG)

350

800

1500

2500

5000

10000

最高溫度(℃)

1500

溫度均勻性(℃)

±7.5

±10

±15

加熱功率(kw)

250

360

480

600

900

1200

極限真空度(Pa)

壓升率(Pa/h)

0.67

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